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電子顯微鏡是哪一種

文章出處:自創(chuàng) 責任編輯:中特精密-LHB 發(fā)表時間:2025-03-24
  

?電子顯微鏡(Electron Microscope)是一種利用電子束替代可見光進行高分辨率成像的精密儀器,主要分為以下兩大類:


1. 掃描電子顯微鏡(SEM, Scanning Electron Microscope

原理:通過聚焦的電子束掃描樣品表面,接收反射的電子信號(如二次電子、背散射電子)生成圖像。

 

特點:

分辨率高(可達0.4納米),但通常用于觀察表面形貌。

景深大,成像立體感強。

適合觀察大塊樣品(無需超薄切片)。

 

應用領(lǐng)域:

材料科學(金屬、陶瓷、半導體表面分析)。

生物學(昆蟲、植物表面結(jié)構(gòu))。

納米技術(shù)(納米顆粒、薄膜形貌)。

 


2. 透射電子顯微鏡(TEM, Transmission Electron Microscope

原理:電子束穿透超薄樣品(厚度<100納米),通過透射電子和衍射信號成像。

特點:

分辨率更高(可達0.05納米),可觀察原子級結(jié)構(gòu)。

需樣品極薄(需復雜制樣,如超薄切片或離子減薄)。

可分析晶體結(jié)構(gòu)、化學成分(結(jié)合EDSEELS附件)。

 

應用領(lǐng)域:

材料科學(晶體缺陷、原子排列)。

生物學(細胞超微結(jié)構(gòu)、病毒顆粒)。

化學(納米材料原子級表征)。

 


其他衍生類型

掃描透射電鏡(STEM):結(jié)合SEMTEM功能,適合原子級元素分析。

環(huán)境掃描電鏡(ESEM):允許樣品在低真空或濕潤環(huán)境中觀察(如生物活體)。

聚焦離子束電鏡(FIB-SEM):結(jié)合離子束切割和SEM成像,用于三維重構(gòu)或微加工。

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