???1、范圍
?
本規范適用于以掃描法測量工件表面二維形狀、位置參數的接觸(觸針)式表面輪廓測量儀(以下簡稱“輪廓儀”)的校準。
2、術語
?
?GB/T 6062-2009、GB/T 17163-2008中界定的及下列術語和定義適用于本規范。
?
2.1接觸(觸針)式表面輪廓測量儀(Contact(Stylus)Surface Contour Tester)?以直線導軌為基準,觸針沿工件表面運動,記錄被測表面輪廓曲線,計算并評定被測輪廓的尺寸、角度、圓弧半徑等二維形狀、位置參數的測量儀器。
2.2坐標系(Coordinate System)?表面輪廓參數的坐標系采用直角坐標系,X軸與基準導軌方向一致(輪廓的水平方向),Z軸與X軸垂直的鉛垂面(輪廓的垂直方向)。
3、概述
?
??其工作原理是:儀器的觸針在被測輪廓表面滑移,傳感器通過銳利觸針感受被測表面的幾何形狀變化,并轉換成電信號。該信號經放大和處理,再轉換成數字信號貯存在計算機系統的存貯器中。計算機對此原始輪廓的數字信號進行數字濾波,并計算其參數。輪廓儀可用于測量各種機械零件素線形狀和截面輪廓形狀。如:凸出量、曲面曲率半徑直線度、平行度、傾斜度、角度等。
4、計量特性
?
???4.1各部分部件相互作用:輪廓儀各活動部件運動應平穩、靈活,無卡滯、跳動和爬行等現象;緊固部件作用有效、可靠;可調部分應滿足測量要求。
? ?????4.2 靜態測量力。
? ?4.3基準導軌直線度。
? 4.4輪廓垂直分量(Z軸)示值誤差。
? ?4.5輪廓水平分量(X軸)示值誤差。
? 4.6半徑測量示值誤差。
? ?4.7半徑測量重復性。
? ??4.8角度測量示值誤差。
? ?4.9角度測量重復性。
? ?以上計量特性的最大允許誤差:
? ?一一校準時,由用戶規定;
? ??一一驗收檢驗時,按照合同規定。
5 校準條件
? ??5.1環境條件
? ???5.1.1校準室內溫度應在(20±3)℃范圍內,相對濕度不超過65%。
? ?????5.1.2校準室內應無影響測量的灰塵、振動、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場。
? ???5.1.3被校儀器及校準用測量標準及其他設備在室內連續平衡溫度的時間不少于1h。
? ???5.2 測量標準及其他設備
? ???校準用測量標準及其他設備見表1。
?6校準項目和校準方法
?
????檢查輪廓儀各部分相互作用,確定沒有影響校準計量特性的因素后按
? 6.1~6.8校準。也可采用滿足測量準確度要求的其它校準方法進行校準。校準????前,被校儀器連續通電預熱時間不少于30min。
? ????6.1 靜態測量力
? ????將觸針針尖輕輕地壓在電子天平上,調整傳感器的高低位置,使傳感器觸針位移顯示指向零位。讀出電子天平的示值,再乘以重力加速度g(g=9.8m/s2),即為觸針靜態測量力。
?
?