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微分干涉顯微鏡?原理：

     在現代顯微鏡觀察檢驗方法中 , 尤其在工業顯微鏡應用領域，除了常規的明視場BF（Bright field）和暗視場
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DF(Dark field)觀察方法, 微分干涉相襯觀察法 (DIC：Differential interference contrast) 作為一種新興的觀察

檢驗方法 , 作為檢驗觀察的一種強有力的工具 , 越來越多的被使用。尤其隨著微電子，平板顯示行業的快速發展

，微分干涉觀察法甚至成為某些制程，比如位錯檢查，導電粒子壓合，硬盤制造檢測的關鍵手段。

       其特點主要為 : 

      (1) 對金相樣品的制備要求降低 , 對于某些樣品 ,甚至只需拋光而不必腐蝕處理即可進行觀察。優點是可以觀

察到樣品表 面的真實狀態 ,如將試樣拋光后在真空下發生馬氏體相變 ,不用腐蝕就可以觀察到馬氏體的相變浮凸 ; 

      (2) 所觀察到的表面具有明顯的凹凸感 ,呈浮雕狀 ,樣品各組成相間的相對層次關系都能顯示出來 ,對顆粒、裂

紋、孔洞以及凸起等都能作出正確的判斷 ,提高了檢驗準確性 ,同時也增加了各相間的反差 ; 

      (3) 用微分干涉相襯法觀察樣品 ,會看到明場下所看不到的許多細節 ,明場下難于判別的一些結構細節或缺陷 

,可通過微分干涉進行反差增強而容易判斷 ; 

      (4) 微分干涉相襯法基于傳統的正交偏光法 ,又巧妙地利用了在渥拉斯頓棱鏡基礎上改良的諾曼斯基DIC 棱鏡 ,

使所觀察的樣品以光學干涉的方法染上豐富的色彩 ,便于觀察。

微分干涉相襯觀察法——


東莞市中特精密儀器科技有限公司

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像測量儀采用氣浮技術和伺服控制技術，結合本公司自動研發的QMS3D自動測量軟件，可實現高效、準確的大

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